میکروسکوپ الکترونی روبشی

SEM  يا ميکروسکوپ الکتروني روبشي يکي از مدرنترين و بهترين دستگاه هاي ساخته شده براي مطالعه و آناليز مواد است. اين دستگاه از سال 1965 بصورت تجاري عرضه شده و ساختار سطح مواد را به آساني مي توان با آن مطالعه نمود. نحوه کار اين دستگاه بدين شرح است: پرتو الكتروني در نقطه اي به قطر حدودAْ100 متمركز مي شود و سطح را در يك راستا جارو مي كند. الكترونهاي گرفته شده از سطح جمع آوري شده و از يك الكترودالكترواستاتيكي به سينتيلاتور با ياس شده متمركز مي شوند. نور متصاعد شده به فتو مالتي پلاير برخورد كرده و سيگنال حاصل از طريق اسيلوسكوپ كه  به همان ترتيب جارو مي شود براي تشكيل تصوير بكار مي رود. تصوير روي پرده اسيلوسكوپ شبيه تصوير نوري است و نمونه معمولاً بايد بطرف كلكتور مايل شود(با زاويه اي كمتر از ْ30 ) تا تصوير مناسبي ديده شود.در SEM از الكترونهاي برگشتي Back scattered يا الكترونهاي ثانويه Secondry Electrons استفاده مي شود. الكترونهاي ثانويه كه انرژي بسيار كمتري دارند در انحناها خم شده و توپوگرافي سطح Topographic centrast را بروز مي دهند. شدت الكترونهاي برگشتي متناسب با عدد اتمي است اما ك …